株式会社第一科学

フジキン

産業機器・材料・部品

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取り扱い製品

  • フローコントロールシステム

    集積化ガスシステム IGS

    ・基本技術の高性能化
    ・小型化
    ・信頼性の向上：Wsealの採用（シールする部分と外力の受ける部分の分離）
    ・施工性、メンテナンス性の向上：構成パーツの完全上部着脱方式、リークポート、専用工具
    ・標準化の推進
    ・コストダウン

    マスフローコントローラ FCS-T

    ・マスフローコントローラは質量流量（Mass Flow）制御機器です
    ・フジキンのFCSシリーズでは、FCS-Pressure（圧力制御方式）シリーズとFCS-Thermal（熱式流量センサ制御方式）シリーズの制御方法の異なる2種類の製品ラインナップを取り揃えております
    ・画像は一般的にマスフローコントローラ（MFC）と呼ばれていますFCS－Thermalシリーズの1つです
    ・低価格製品から高機能製品までラインナップが豊富です
    ・メタルシール、ラバーシールのモデルがあります
    ・500Lまでの大流量対応可能です

    継手

    超小型メタルガスケット継手 UPG

    超小型メタルガスケット継手 UPG®は主に半導体製造装置のガスを供給する配管の継手として使用されます。
    その特徴は小型で内部にデットスペース（液溜まり部）がなく、シールの信頼性が高く更に配管施工についても信頼性の高い施工が可能となるものです。

    ・従来継手の70%小型
    ・デットスペース（液溜まり）フリー
    ・ 締付後、ガスケットが全面密着し、外部応力を受ける構造となっておりシールの信頼性が高い

    ＊半導体製造装置は半導体製造過程で各種のガス（腐食性ガス、毒ガス等）を使用し成膜したり、エッチングを行ったりして半導体を製造します。そのガスを供給する設備をガス供給系と呼びますが、そのガス供給系内にはガスを流したり止めたりするバルブや流量をコントロールするマスフローコントローラ、圧力を制御するレギュレータ等がありますが、それらを配管で接続する箇所に継手が使用されます。

    2圧縮リング継手 Vシリーズ

    ・ボディ、フロントリング、バックリング、ナットの4点のパーツで構成される2圧縮リング継手です
    ・チューブを差し込み、ナットを締めつけるだけで接続できるため、特殊工具及び火器を必要としません
    ・リングが有効に塑性変形して、チューブを強固に圧縮するため、非常に高い耐圧性が得られます
    ・ボールバルブ、ニードルバルブ、チャッキバルブ等、バルブのラインナップも豊富に取り揃えております

    バルブ

    メタルダイヤフラムバルブ NEW MEGA

    ・各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体及び可燃性、毒性流体ライン向け気体作動ダイヤフラムバルブです
    ・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです
    ・設ガス部は全て標準でEP処理を行っています
    ・キャップ上部でノーマルオープン、ノーマルクローズ簡単に識別可能

    ダイヤフラム式ミニコントロールバルブ MINUCON

    ・Cv値：0.0000015～5まで幅広いCv値に対応
    ・インナー弁はSUS316+ステライト盛で耐摩耗性に優れています
    ・ステンレス鍛造（SUSF316）製ボディ高圧ガス大臣認定品にも対応
    ・グランド部はPTFE製パッキンとフッ素ゴムOリングの二重シール
    ・アクチュエータはマルチスプリング方式を採用したコンパクト設計
    ・優れた制御性能を実現する高感度ダイヤフラム式アクチュエータ